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        CTR100N萊寶真空計說明

        更新時間:2021-06-07  |  點擊率:3691

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        此真空變送器提供四 (4) 位十進制測量范圍,并基于薄膜與固定電極之間的電容進行測量。不論處理氣體成分如何,其輸出均相同 – 無需氣體校正系數(shù)。
        它的應用非常廣泛,可用作獨立設備或與合適的控制設備配合使用。CTR 100 N 變送器的主要通信方式是其 0 – 10 伏直流模擬輸出信號。此輸出可連接至外部模擬設備,獲取壓力讀數(shù),或進行壓力控制。此變送器還配備 RS232 數(shù)字通信接口,可設定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量。有關此接口的詳情,請參閱 RS232 指導手冊 300544665。
        傳感器技術
        此變送器通過測量薄金屬膜與圖案化電極之間的電容進行工作。當處理壓力發(fā)生變化時,薄膜改變其相對于電極的位置,促使電容發(fā)生改變。電容的變化與壓力的變化成正比。由于薄膜位置與氣體類型無關,因此不論氣體成分如何,變送器都提供相同的輸出信號。薄膜和傳感器全部由鎳合金構成,從而它能夠抵御腐蝕或氧化所造成的損害。
        應用
        變送器可用于眾多不同領域的真空應用中,如:半導體、分析和涂料工業(yè)中:
        ? 一般真空壓力測量
        ? 氣體回填測量和控制
        ? 薄膜沉積處理,例如蒸發(fā)、濺射和化學氣相沉積 (CVD)。
        ? 高級材料處理,例如真空爐和陶瓷燒結。
        ? 溶液和油液的真空脫氣。
        ? 等離子和化學清洗。
        ? 分析儀器,例如電子顯微鏡、熱分析儀和質(zhì)譜儀。

        技術數(shù)據(jù)
        全量程測量范圍:
        1000, 100, 20, 10, 1 和 0.1 托
        精確度 (1)
        范圍 ≥ 1 托: 讀數(shù)的 0.20%。
        0.1 托范圍: 讀數(shù)的 0.50%
        分辨率(2)
        全量程的 0.003%
        電源電壓:
        +14 至 +30 伏直流;0.030 安時的額定電壓為 24 伏直流
        功耗:
        < 1 瓦
        模擬輸出:
        0 – 10.00 伏直流
        響應時間:
        F.S 范圍 ≥ 1 托,從 F.S 的 0% 至 90%,響應時間為 40 毫秒。對于 0.1 托,從 F.S 的 0% 至 90%,響應時間為 80 毫秒。
        采樣率:
        對于范圍 > 1 托 (1.33 毫巴) 的變送器,模擬輸出信號大約每秒更新 1000 次對于范圍 ≤ 1 托 (1.33 毫巴) 的變送器,模擬輸出信號大約每秒更新 500 次
        暴露在真空中的材料:
        Inconel® 和 Incoloy® 鎳合金。KF 和 CF 法蘭由 300 系列不銹鋼制成。

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