中國臺灣漢鐘iPM600螺桿泵維修IPM半導體中度嚴苛系列 型號有iPM100,iPM600 用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant 特點：綠色制造、新系列干式真空泵 體積小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度嚴苛制程的節能泵

卡西雅瑪MU300X干式泵維修Kashiyama日本卡西雅瑪螺桿泵維修主要特性及優點： 1、無油真空泵 由于真空腔內沒有油潤滑，因此粉塵不會存留在泵腔內，而是隨著氣體從排氣口排出泵外。 不需處理廢油，環保。 2、無油壓縮真空泵 由于氣體在泵內有壓縮，因此消耗功率低。 3、泵腔內沒有任何的內部閥門，排除了因內部閥門而產生的故障的可能性，因此耐粉塵和焦油能力強。 4、泵腔外殼可方便地拆卸，便于清洗螺桿

iH600愛德華干式泵維修 iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59040946 技術數據 峰值速度 1800 m3h-1 1060 cfm

PMF612中國臺灣漢鐘螺桿泵維修產品廣泛用于：電光源、真空鍍膜、機械、光盤、冶金、石油、化工、木工、印刷、食品、電子、電力、陶瓷、引水、印染、制糖、制冷設備、環保、工藝吸塑、科研及汽車維修、包裝、脫氣、真空和正壓在氣力輸送工藝中的應用、干燥、夾持/輸送、蒸餾、抽空、 成型/壓制/層壓 、清除、鍍膜、曝氣 等行業和工藝。

卡西雅瑪MU180X干泵維修鴻鑫真空 MU180X:抽速3000L/min，極限壓力1.5pa

中國臺灣漢鐘PS160系列螺桿泵維修PS系列螺桿真空泵 定螺距螺桿轉子特點： 1、結構簡單，故障率低，成本較低，易維修 2、高壓段功耗相對低，適用于高負載應用場合 3、排氣路徑短，減少反應物沉積 適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產業、半導體面板業制程 PS系列螺桿真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS902、PS1302、PS1802 PD系列螺桿真空泵 高壓段抽速快 能耗可