描述：愛德華EH4200羅茨泵維修應用

半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光

愛德華EH4200羅茨泵維修

EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光

功能和優勢
適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高

抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：
1、安靜的無振動運行。
2、牢靠且防腐蝕。
3、*的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
4、防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
5、經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。

6、軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

7、動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備

由二臺或二臺以上的真空泵及其他附件組合一個體系完結需求的到達真空度的意圖就叫真空泵體系 
真空泵體系規劃的要害問題是挑選真空抽氣機組的主泵主泵類型的斷定
1、依據真空室所需求樹立的極限壓力斷定主泵的類型。通常主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數量級。

2、依據真空室進行技術出產時所需求的作業壓力選主泵。應正確地挑選主泵的作業點，在其作業壓力規模內 愛德華eh4200羅茨泵維修，應能掃除真空室內技術過程中發生的悉數氣體量。因此，真空室內的作業壓力必定要在主泵的---抽速壓力規模以內。

3、依據真空室的容積巨細和需求的抽氣時刻來選主泵。真空室體積巨細對體系抽到極限真空的時刻有影響。當抽氣時刻需求必守時，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。

4、正確地組合真空泵 愛德華eh2600羅茨泵維修，因為真空泵有挑選性地抽氣，因此有時選用一種泵不能滿意抽氣需求，需求幾種泵組合起來，互相彌補才干滿意抽氣需求。

5、若真空體系嚴厲需求無油時，則應當選各種無油泵作主泵。假如需求不嚴厲，則可挑選有油泵，然后加上一些防油污染辦法 愛德華eh1200羅茨泵維修，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能到達清洗真空需求。

愛德華EH4200羅茨泵維修