描述：漢鐘螺桿真空泵PD120維修保養PS系列螺桿真空泵
定螺距螺桿轉子特點：
1、結構簡單，故障率低，成本較低，易維修
2、高壓段功耗相對低，適用于高負載應用場合
3、排氣路徑短，減少反應物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產業、半導體面板業制程
PS系列螺桿真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺桿真空泵型號：PDF1

漢鐘螺桿真空泵PD120維修保養

PS系列螺桿真空泵

定螺距螺桿轉子特點：

1、結構簡單，故障率低，成本較低，易維修

2、高壓段功耗相對低，適用于高負載應用場合

3、排氣路徑短，減少反應物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產業、半導體面板業制程

PS系列螺桿真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺桿真空泵型號：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快

能耗可降低30%以上

氣冷馬達機型可搭配自循環冷卻系統，能使用在無冷卻水的系統環境

可提供符合ATEX標準的產品

變螺距螺桿轉子特點：

1，運行溫度低，適用于要求泵體表面及排氣溫度低的場合。                2，運轉功耗低，適用于輕負載應用場合，更節能。 

                       3，運行噪音更低，適用于運行噪音低的場合，如：貼合機，無塵室。

4，相同長度轉子，抽氣量更大。適用于大抽氣量的真空需求。

真空壓力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

漢鐘PS系列、PD系列維修

維修步驟：

1、螺桿泵來料檢驗，真空度、運行時間、振動值、驅動器、電氣參數。

2、全部拆卸，油污清潔，打磨。

3 、按“螺桿泵維修處理通知單"更換所必需的零件，如：軸承、軸套、套筒、密封圈、齒輪，以確保可靠的優質服務和泵浦使用

壽命。

4、泵的平衡，利用平衡和分析設備，調試佳的狀態，以減少噪音、振動，延長軸承壽命。

5、測試檢查，參照原廠參數檢測，結合客人實際要求與螺桿泵磨損

PMF半導體干凈系列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF系列型號有PMF100，PMF120，PMF612

特點 Features

    低的電能消耗

          Lowest Power Consumption

    節能模式的應用降低整體功耗

    Idle saving mode applied to save total power Consumption

    體積小，重量輕

    Small size，light weight and easy installation

    節省了安裝空間

    Saving space for installation site

    半導體干凈制程的佳選擇

    Best choice for semiconductor light processes

漢鐘PD變距系列干式螺桿真空泵主要特點：

漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應物沉積

hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內的傳輸路徑短，不易產生反應物沉積的現象。

漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳，泵浦性能佳

Hanbell干式螺桿真空泵，轉子密封線形，轉子密封性佳，轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合

間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。

漢鐘螺桿真空泵結構簡單，故障率低，維護容易

Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對轉子相互嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降

低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。

漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠端監控，保護周全

Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運轉狀態，方便使用者對泵應用狀態進行調整，

在真空泵產生問題前進行預防保養。遠端監控系統能夠提供使用者方便的監控工具，使用者不需到現場就能夠了解真空泵的運行狀

態。

漢鐘螺桿真空泵典型應用：

面板TFT-LCD, Touch Panel

太陽能Solar

冶金系統Metallurgical System

鍍膜Coating

電漿制程Plasma processes

干燥處理Drying Process

制程氣體抽取Degassing

生技/制藥Biotech/Pharmaceutical

化工產業Chemical Industry

鋰電池Battery

漢鐘螺桿真空泵PD120維修保養